1、超聲波強度。即單位面積聲功率。超聲清洗的效果好壞取決于空化作用，而空化作用的產(chǎn)生與超聲波強度有關(guān)。在通常情況下，單位面積聲功率超過(guò)0.3W/cm 2（輸出電功率一般大于1W）水溶液就能產(chǎn)生空化。在一定范圍內，超聲波強度越大，空化作用越明顯，也就說(shuō)清洗效果越好。但太高的功率密度會(huì )由于空化作用太強而引起對工件的表面侵蝕使制件受損。另外當功率密度增加到一定程度就會(huì )出現飽和現象，清洗效果反而會(huì )下降。產(chǎn)生空化的功率密度臨界點(diǎn)與頻率還有關(guān)系，頻率越高，產(chǎn)生空化的功率密度越大，例如16--20KHz時(shí)，功率密度臨界點(diǎn)大約為0.3--0.4W/cm2；26--30KHz時(shí)，功率密度就選為0.5--0.8W/cm2；30--40KHz時(shí)，功率密度應選為1--1.2W/cm2。 　　
      2、超聲波頻率。超聲波振動(dòng)頻率對于清洗效果有很大影響，這是由于超聲波頻率對于空化作用影響很大的緣故。實(shí)踐證明同等功率情況下，低頻時(shí)易于激發(fā)空化。即頻率越低，空化作用效果越好，但噪音越大。反之，頻率越高，空化作用效果越差，噪音越小。 　　
      3、清洗液溫度。清洗的溫度是影響清洗速度重要因素，適當的提高清洗液的溫度，可增強空化能力，縮短清洗時(shí)間，但超過(guò)一定的溫度，由于蒸汽壓力相應增加反而使空化作用降低，因此必須保持一定的溫度范圍，如水溶劑清洗液一般在45℃左右，三氯烯清洗液在75℃左右。選擇清洗液必須考慮選擇的清洗液粘度要小，表面張力要小以利于清洗液的空化